在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,使用康耐視機(jī)器視覺和深度學(xué)習(xí)技術(shù)的益處。
1對(duì)位解決方案
半導(dǎo)體制造需要超高精度。多年來,晶片的密度一直在穩(wěn)步上升。如今,半導(dǎo)體的特征尺寸為納米級(jí),這就要求在執(zhí)行制造工藝(如光 刻、切割、引線接合和包裝)時(shí)具有超高的精度和對(duì)準(zhǔn)。康耐視對(duì)準(zhǔn)解決方案通過使用行業(yè)領(lǐng)先的機(jī)器視覺工具,即使在不利條件下也能快速、精確地定位和對(duì)準(zhǔn)圖案和基準(zhǔn)點(diǎn),從而最大程度地提高產(chǎn)量、提高質(zhì)量并降低成本。
適用范圍和場(chǎng)景
晶圓切口檢測(cè)、晶圓和晶片對(duì)位
2識(shí)別/可追溯性解決方案
半導(dǎo)體行業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)非常激烈,這就要求制造商對(duì)設(shè)備質(zhì)量和假冒偽劣產(chǎn)品實(shí)施更多的控制。集成電路芯片的可追溯性更要從制造層面開始。在過去,識(shí)別和可追溯性意味著晶圓字符識(shí)別,而有時(shí)是指IC封裝DataMatrix碼讀取。這一領(lǐng)域的新趨勢(shì)是在晶圓背面創(chuàng)建多個(gè)標(biāo)記以及芯片規(guī)模的可追溯性。晶圓、晶圓載體、引線框架、晶片和成品封裝都有識(shí)別碼,必須在流程的每一步進(jìn)行讀取和驗(yàn)證。這是為了掌握回溯信息,以防問題進(jìn)一步發(fā)生在下游;無論是在系統(tǒng)級(jí)PCB裝配工廠還是在最終用戶客戶現(xiàn)場(chǎng)使用。根據(jù)不同的應(yīng)用,康耐視機(jī)器視覺系統(tǒng)或深度學(xué)習(xí)光學(xué)字符識(shí)別工具可用于快速、準(zhǔn)確地讀取字母數(shù)字字符或條形碼。
適用范圍和場(chǎng)景
晶圓字符識(shí)別、晶圓載體環(huán)的可追溯性、集成電路封裝的可追溯性、讀取IC上的字符和代碼
3檢查/分類解決方案
半導(dǎo)體行業(yè)的特點(diǎn)是非常高質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)與快速的新技術(shù)引進(jìn)搭配。對(duì)于半導(dǎo)體制造商來說,衡量質(zhì)量的優(yōu)秀指標(biāo)是“每片晶圓的成品率”。更高的成品率可以轉(zhuǎn)化為更高的利潤(rùn)率。使用機(jī)器視覺和深度學(xué)習(xí)技術(shù)在流程的各個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行缺陷檢驗(yàn),有助于及早發(fā)現(xiàn)問 題??的鸵暤纳疃葘W(xué)習(xí)技術(shù)可以幫助隔離制造過程中的缺陷原因,以便迅速采取糾正措施并記錄結(jié)果。這可以同時(shí)忽略屬于可接受 水平的自然變化。隨著制造工藝的優(yōu)化和缺陷的減少,產(chǎn)量也會(huì)增加。
適用范圍和場(chǎng)景
晶圓缺陷檢驗(yàn)、檢查和分類探針標(biāo)記、檢測(cè)切割后的邊緣裂紋和毛刺、晶片表面的缺陷檢驗(yàn)、檢查引線接合的缺陷、檢測(cè)WLCSP側(cè)壁上的微細(xì)破損、集成電路成型的外觀缺陷檢測(cè)和分類、集成電路引線外觀檢測(cè)
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